洁净室及其方法

摘要

一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室，其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口，空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的设备。

主权项

一种用于洁净室的地板结构，其包括：一具有混凝土板式地板的装置室；许多在所述板式地板之上延伸的支撑柱；许多由所述柱支撑的梁；一现场浇注的密实支撑地板，其具有许多从其穿过的开口，以允许空气流从位于所述地板之上的洁净室流向位于所述地板之下的所述装置室，所述地板能够支撑在其上面任何位置设备；以及许多定位在所述开口中的格栅。