基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置

摘要

基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域；是在气浮导套的外部相邻两侧面处沿X向和Y向分别构建与主工作气膜支承方向相反的两个辅助气膜，并与主工作气膜共同作用于导向气浮板两侧；导向气浮板工作面与内侧主气浮导轨和外侧辅助导轨工作面分别形成正向和负向工作气膜，两气膜工作压力分别为P内和P外，且P内＞P外；导向气浮板在双向工作气膜的复合作用下工作；其装置是在气浮导套的外部设有辅助导轨A和辅助导轨B，且在气浮导套上还设有同时面向主气浮导轨、辅助导轨A和辅助导轨B的节流结构；本发明建立了一种刚度高、抗扰动能力强、工作稳定性好等优势兼顾的立式直线基准。

主权项

一种基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法，其特征在于该方法是在气浮导套的外部相邻两侧面处沿X向和Y向分别构建与主工作气膜支承方向相反的两个辅助气膜，并与主工作气膜共同作用于导向气浮板两侧；导向气浮板工作面与内侧主气浮导轨和外侧辅助导轨工作面分别形成正向和负向工作气膜，两气膜工作压力分别为P内和P外，且P内＞P外；导向气浮板在双向工作气膜的复合作用下工作。