阻挡膜形成用内部电极以及成膜装置

摘要

本发明的阻挡膜形成用内部电极，其插入具有口部的塑料容器的内部，向该塑料容器内供给介质气体，并向设置在上述塑料容器外部的外部电极供给高频电力，从而在塑料容器内表面产生放电等离子体，并在塑料容器的内表面形成阻挡膜，其中，设有：气体供给管101，具有用于供给介质气体G的气体流路101a；和绝缘部件103，平齐地螺合于上述气体供给管101的端部，并具有与上述气体流路101a连通的气体喷出口102。

主权项

一种阻挡膜形成用内部电极，其插入具有口部的塑料容器的内部，向该塑料容器内供给介质气体，并向设置在所述塑料容器外部的外部电极供给高频电力，从而在塑料容器内表面产生放电等离子体，并在塑料容器的内表面形成阻挡膜，其特征在于，设有：气体供给管，具有用于供给介质气体的气体流路；和绝缘部件，具有与所述气体供给管的端部连通的气体喷出口，所述绝缘部件具有螺合或者嵌合在气体供给管端部的防落下构造。