用于Ⅲ型气体抽吸的高传导率低温泵

摘要

提供对III型气体具有较高抽吸速度的一种低温泵。打开配置的前面阵列提供了气体进入辐射屏蔽的较高传导率，该辐射屏蔽被形成以朝向第二阶段阵列集中气体。第二阶段阵列具有打开配置的涂有吸附剂的隔板。实质上全部的吸附剂具有到辐射屏蔽或者到辐射屏蔽中的开口的直接的视线，实质上全部的隔板被涂有吸附剂。在一种形式中，第二阶段低温泵阵列包括展成扇形的圆盘阵列以限定通常成球形的外壳。

主权项

一种低温泵，其包括：具有第一和第二阶段的制冷器；与制冷器的第二阶段热接触的第二阶段低温板，以冷凝较低温度的冷凝气体；围绕第二阶段低温板的辐射屏蔽，该辐射屏蔽与制冷器的第一阶段进行热接触；以及穿过辐射屏蔽中的开口的前面低温板，该前面低温板作为低温抽吸表面用于较高冷凝温度气体；该低温泵具有至少20％对氢气的捕获能力，以及第二阶段低温板包括装载吸附剂的隔板阵列，至少80％的吸附剂具有到辐射屏蔽或者到辐射屏蔽中的开口的直接的视线，至少某些吸附剂具有通过辐射屏蔽中的开口的直接的视线。