| 发明名称 | 夹具及相应的掩模板组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种夹具及相应的掩模板组件，所述夹具用以将表膜框架固定在掩模板上，所述表膜框架的上表面具有一卡槽，所述夹具包括：第一固定部，与所述掩模板相匹配，卡合在所述掩模板的边沿；以及第二固定部，与所述第一固定部连接，并与所述表膜框架相匹配，插入所述卡槽内以固定所述表膜框架的位置。所述夹具结构简单，可将表膜框架牢靠的固定在掩模板上，且装卸方便，提高了表膜以及掩模板的使用寿命，节约了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN201464800U | 申请公布日期 | 2010.05.12 |
| 申请号 | CN200920070375.X | 申请日期 | 2009.04.14 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 卢子轩 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种夹具，用以将表膜框架固定在掩模板上，所述表膜框架的上表面具有一卡槽，其特征在于，所述夹具包括：第一固定部，与所述掩模板相匹配，卡合在所述掩模板的边沿；以及第二固定部，与所述第一固定部连接，并与所述表膜框架相匹配，插入所述卡槽内以固定所述表膜框架的位置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||