发明名称 MEMS麦克风封装结构
摘要 本实用新型所公开了一种MEMS麦克风封装结构,包括:MEMS麦克风;基板,所述基板包括一个用以承载MEMS麦克风的第一表面;金属盖,所述金属盖包括一为外围边缘部分所界定的中心部分;容室,所述容室由所述金属盖的外围边缘部分与基板连接形成;所述容室包括一能使外部声音信号进入MEMS麦克风的声孔;所述金属盖的中间部分与基板隔开形成一空腔,MEMS麦克风容置于空腔内;与现有技术相比结构简单,并可有效降低成本。
申请公布号 CN201467441U 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200920131246.7 申请日期 2009.04.30
申请人 比亚迪股份有限公司 发明人 赵静;刘辉;杨钢剑;杨云;冯卫
分类号 H04R19/04(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 主分类号 H04R19/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 MEMS麦克风封装结构,其特征在于:包括:MEMS麦克风;基板,所述基板包括一个用承载MEMS麦克风的第一表面;金属盖,所述金属盖包括一为外围边缘部分所界定的中心部分;容室,所述容室由所述金属盖的外围边缘部分与基板连接形成;所述容室包括一能使外部声音信号进入MEMS麦克风的声孔;所述金属盖的中间部分与基板隔开形成一空腔,MEMS麦克风容置于空腔内。
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