发明名称 |
一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备,包括一可对所述制备设备进行控制的主机机柜、一设置在主机机柜上的近空间升华炉及一磁控溅射仪;所述磁控溅射仪顶部设有旋转加热样品台,所述近空间升华炉下方设有红外加热器,上方设有升降加热样品台,所述近空间升华炉与磁控溅射仪通过插板阀连接,一磁力机械手贯穿于近空间升华炉与磁控溅射仪中。该设备能在真空闭锁调节下完成所有制备太阳能电池的工序,具有效率高,自动化程度高、没有中间污染环节等特点。 |
申请公布号 |
CN201466048U |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
申请号 |
CN200920074277.3 |
申请日期 |
2009.07.16 |
申请人 |
上海联孚新能源科技有限公司 |
发明人 |
赖建明;张根发;苏青峰;刘红梅;冯世军;韩新江;杨文平;胡之骥 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海硕力知识产权代理事务所 31251 |
代理人 |
王法男 |
主权项 |
一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备,包括一可对所述制备设备进行控制的主机机柜、一设置在主机机柜上的近空间升华炉及一磁控溅射仪;其特征在于:所述磁控溅射仪顶部设有旋转加热样品台,所述近空间升华炉下方设有红外加热器,上方设有升降加热样品台,所述近空间升华炉与磁控溅射仪通过插板阀连接,一磁力机械手贯穿于近空间升华炉与磁控溅射仪中。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区王桥路1003号 |