用于真空测量的电容式压力传感器

摘要

本实用新型专利涉及的是一种由合金金属和陶瓷材料合成的合成件为组件的用于真空压力测量的电容式压力传感器，它具有很强的牢固性和耐蚀性，为了使其具有很高的灵敏性、高精度地测量出不同真空压力段的压力值，本传感器采用了厚度(10～200微米)不等的由耐蚀性的弹性合金材料制成的“弹性合金膜片”。这些膜片被非常紧密地、对称和无应力地配置在一个由合金和陶瓷材料合成的合成件中。

主权项

用于真空压力测量的电容式压力传感器，其特征在于设有：带有一个用耐酸耐蚀性合金材料制成的第一壳体(1)和一个以耐蚀性弹性合金材料和陶瓷材料合成的合成件为电容电极体(2)，以固定地并保持一定位移距离的在其边缘处密封封布置的，用耐酸耐蚀性弹性合金制成的压力感受膜片(11)，其中电容电极体(2)对置于膜片(11)的陶瓷表面涂覆有金属导电层，构成测量电容，这样在其间就构成了一个基准真空腔(16)，用耐酸耐蚀性合金制成第二壳体(3)，对膜片(11)在边缘处密封布置，就与该膜片(11)之间形成了一个真空压力测量腔(18)，连接导管(15)密封式地导入就与被测介质相通。