| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen und Trocknen von Halbleitererzeugnissen oder von bei der Herstellung von Halbleitererzeugnissen verwendeten Handhabungskörben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10347464(B4) |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
DE2003147464 |
申请日期 |
2003.10.02 |
| 申请人 |
DYNAMIC MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR EQUIPMENT GMBH |
发明人 |
REBSTOCK, LUTZ |
| 分类号 |
H01L21/30;B08B3/02;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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