| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur kombinierten interferometrischen und abbildungsbasierten Geometrieerfassung, insbesondere in der Mikrosystemtechnik |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112005000639(B4) |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
DE200511000639T |
申请日期 |
2005.05.03 |
| 申请人 |
CARL MAHR HOLDING GMBH |
发明人 |
LEHMANN, PETER;STEFFENS, NORBERT |
| 分类号 |
G01B9/04;G01B9/02;G01B11/24;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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