受激准分子灯及制法

摘要

本发明提供了一种受激准分子灯，能够防止受激准分子灯的石英玻璃制放电容器产生由紫外线劣化引起的裂纹，延长灯具寿命。在受激准分子灯的石英玻璃制的内管(1)的外侧圆筒面上涂布含有紫外线吸收物质的溶剂。使溶剂干燥来形成紫外线吸收物质的膜，之后以大于等于900℃且小于等于内管的软化点的温度进行热处理，使紫外线吸收物质从内管的外侧圆筒面扩散到石英玻璃内。进行氟酸清洗来去除紫外线吸收物质的膜。扩散物质是Ti、Ce以及Zr中的任意1种以上的物质。扩散浓度在接近放电空间的侧变浓。可防止紫外线入射到内管(1)中，可延长灯具寿命。

主权项

一种受激准分子灯，配备有将石英玻璃的内管呈同轴状插入到石英玻璃的外管内来构成、并具有光出射窗的放电容器，使前述内管和前述外管之间成为填充有通过高频辉光放电而生成受激准分子的放电用气体的放电空间，其特征在于，在前述内管的放电空间侧形成有被高浓度地扩散了紫外线吸收物质的紫外线吸收部。