| 摘要 |
Ein Isolationsbereich (10) über eine Driftstrecke (12) wird mit einem Abstand (d) zu einem für einen Drain-Anschluss (D) vorgesehenen Kontaktbereich (4) hergestellt. Der Isolationsbereich wird als Implantationsmaske verwendet, um ein Dotierstoffprofil der Driftstrecke herzustellen, bei dem die Dotierstoffkonzentration zum Drain hin zunimmt. Die Implantation des Dotierstoffes kann statt dessen vor der Herstellung des Isolationsbereiches erfolgen, und die nachträgliche Herstellung des Isolationsbereiches (10) verändert das Dotierstoffprofil ebenfalls in einer Weise, dass die Dotierstoffkonzentration zum Drain hin zunimmt. |
