发明名称 Solarzelle und Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Solarzelle mit einem Halbleitersubstrat, in dessen einer, speziell der lichtabgewandten, Hauptoberfläche zueinander benachbart Emitterbereiche und hochdotierte Basisbereiche vorgesehen sind, und einer auf dieser Hauptoberfläche angeordneten Passivierungsschicht, welche Durchbrüche zur lokalen Kontaktierung der Emitterbereiche mit einer ersten Metallschicht und der Basisbereiche mit einer zweiten Metallschicht aufweist, wobei die erste Metallschicht eine vollflächig auf dem Halbleitersubstrat mittels Sputtern oder Aufdampfen abgeschiedene Dünnschicht ist, die über dem Basisbereich Ausnehmungen hat, über der ersten Metallschicht eine erste Isolierschicht abgeschieden ist, die ebenfalls Ausnehmungen über den Basisbereichen hat, und über der ersten Isolierschicht und somit von der ersten Metallschicht elektrisch isoliert eine zweite Metallschicht derart abgeschieden ist, dass sie sich in die Ausnehmungen der ersten Metallschicht und der Isolierschicht hinein erstreckt und die Hauptoberfläche in den Basisbereichen kontaktiert.
申请公布号 DE102009016268(A1) 申请公布日期 2010.05.12
申请号 DE20091016268 申请日期 2009.04.03
申请人 BOSCH SOLAR ENERGY AG 发明人 KROKOSZINSKI, HANS-JOACHIM
分类号 H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 主分类号 H01L31/0224
代理机构 代理人
主权项
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