摘要 |
Solarzelle mit einem Halbleitersubstrat, in dessen einer, speziell der lichtabgewandten, Hauptoberfläche zueinander benachbart Emitterbereiche und hochdotierte Basisbereiche vorgesehen sind, und einer auf dieser Hauptoberfläche angeordneten Passivierungsschicht, welche Durchbrüche zur lokalen Kontaktierung der Emitterbereiche mit einer ersten Metallschicht und der Basisbereiche mit einer zweiten Metallschicht aufweist, wobei die erste Metallschicht eine vollflächig auf dem Halbleitersubstrat mittels Sputtern oder Aufdampfen abgeschiedene Dünnschicht ist, die über dem Basisbereich Ausnehmungen hat, über der ersten Metallschicht eine erste Isolierschicht abgeschieden ist, die ebenfalls Ausnehmungen über den Basisbereichen hat, und über der ersten Isolierschicht und somit von der ersten Metallschicht elektrisch isoliert eine zweite Metallschicht derart abgeschieden ist, dass sie sich in die Ausnehmungen der ersten Metallschicht und der Isolierschicht hinein erstreckt und die Hauptoberfläche in den Basisbereichen kontaktiert.
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