| 发明名称 |
TRANSFER CHUCK FOR TRANSFERRING FLAT MATERIALS, PARTICULARLY WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2183764(A1) |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
EP20080786042 |
申请日期 |
2008.07.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
GERHARD, DETLEF |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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