发明名称 Testglaswechselsystem zur selektiven Beschichtung und optischen Messung von Schichteigenschaften in einer Vakuumbeschichtungsanlage
摘要 Die Erfindung betrifft ein Testglaswechselsystem (10) zur selektiven Beschichtung und optischen Messung eines Testglases (24, 24'') in einer Beschichtungskammer (1) einer Vakuum-Beschichtungsanlage (3). In der Beschichtungskammer werden Substrate (7) mit Hilfe eines beweglichen Drehtellers (2) auf einer Bahn durch einen Strom eines Beschichtungsmaterials geführt. Das Testglaswechselsystem (10) umfasst einen Testglashalter (8, 8'') mit einer Testglasplatte (26) für die Aufnahme des Testglases (24, 24'') und einem Deckel (28, 28'') zur selektiven Abdeckung der Testglasplatte (26). Das Testglaswechselsystem (10) umfasst weiterhin eine Drehvorrichtung (34) für die Drehung der Testglasplatte (26) um eine Achse (5'), die näherungsweise parallel zur Drehachse (5) des Drehtellers (2) ausgerichtet ist. Der Testglashalter (8, 8'') ist als eine Einheit auf dem Drehteller (2) positionierbar und aus der Beschichtungskammer (1) entnehmbar.
申请公布号 DE102008056125(A1) 申请公布日期 2010.05.12
申请号 DE20081056125 申请日期 2008.11.06
申请人 LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 SCHERER, MICHAEL
分类号 C23C14/54;C23C16/52 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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