摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Testglaswechselsystem (10) zur selektiven Beschichtung und optischen Messung eines Testglases (24, 24'') in einer Beschichtungskammer (1) einer Vakuum-Beschichtungsanlage (3). In der Beschichtungskammer werden Substrate (7) mit Hilfe eines beweglichen Drehtellers (2) auf einer Bahn durch einen Strom eines Beschichtungsmaterials geführt. Das Testglaswechselsystem (10) umfasst einen Testglashalter (8, 8'') mit einer Testglasplatte (26) für die Aufnahme des Testglases (24, 24'') und einem Deckel (28, 28'') zur selektiven Abdeckung der Testglasplatte (26). Das Testglaswechselsystem (10) umfasst weiterhin eine Drehvorrichtung (34) für die Drehung der Testglasplatte (26) um eine Achse (5'), die näherungsweise parallel zur Drehachse (5) des Drehtellers (2) ausgerichtet ist. Der Testglashalter (8, 8'') ist als eine Einheit auf dem Drehteller (2) positionierbar und aus der Beschichtungskammer (1) entnehmbar.
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