发明名称 一种用于半导体封装粘片制程中粘胶设备的加热装置
摘要 本实用新型涉及用于半导体封装粘片制程中粘胶设备的加热装置,可有效改善和提高半导体器件生产工艺及生产效率,降低生产成本的问题,其解决的技术方案是,包括有热电耦及加热模块、轨道垫块,热电耦及加热模块置于轨道垫块内,轨道垫块装在垫块支架上,加热模块上部有引线框架,并置于轨道垫块上部分内下部,加热模块的降温区一端有伸出轨道垫块的氮气接口,本实用新型结构简单,加热效果好,并可利用封装器械内银胶来改造,成本低,实用性强,清洁卫生,有良好的经济和社会效益。
申请公布号 CN201466008U 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200920089404.7 申请日期 2009.04.03
申请人 晶诚(郑州)科技有限公司 发明人 万承钢;吴赟;史鹏飞
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 郑州天阳专利事务所(普通合伙) 41113 代理人 聂孟民
主权项 一种用于半导体封装粘片制程中粘胶设备的加热装置,包括有热电耦及加热模块、轨道垫块,其特征在于,热电耦及加热模块置于轨道垫块内,轨道垫块装在垫块支架(11)上,加热模块上部有引线框架(1),并置于轨道垫块上部分内下部,加热模块的降温区(4)一端有伸出轨道垫块的氮气接口(9)。
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