产生关于半导体晶片至少一部分的检查数据的方法

摘要

这里公开了一种用于捕获、校准和连接所有表面检查和计量数据的系统。还公开了这种数据的使用。

主权项

一种产生关于半导体晶片至少一部分的检查数据的方法，包括：捕获与半导体晶片的至少两个表面相关的检查数据；校准与半导体晶片的所述至少两个表面相关的检查数据，使得单个坐标系可以限定半导体晶片的所述至少两个表面上的位置；将与半导体晶片的所述至少两个表面相关的检查数据连接到单个数据结构中；以及形成晶片的三维模型并且动态观察与晶片有关的缺陷数据，该缺陷数据存储在所述单个数据结构中并且形成所述三维模型的部分。