搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统

摘要

本发明公开了一种搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统，包括末端受动器，末端受动器的后端与机械臂铰接，前端设有取物器，用于抓取物件；还包括驱动装置，可驱动末端受动器绕铰接点转动；还包括校准装置，用于对被抓取物件定位校准；取物器上设有取物槽，取物槽下部设有的定位面，用于对被抓取物件进行中心定位；机械臂上设有校准器，用于对被抓取物进行圆周角度定义。主要用在半导体晶片加工过程中的晶片传输系统中，传输并校准晶片，搬运可靠、校准精确，既可以应用于大气环境中，又可以应用于真空环境中。取消了晶片送往晶片校准器的传输过程，减少了传输路径时间，提高了生产传输效率，并简化了系统设备。

主权项

一种搬运校准装置，包括末端受动器，末端受动器的后端与机械臂连接，前端设有取物器，用于抓取物件，其特征在于，所述末端受动器的后端与机械臂铰接；所述的搬运校准装置上还设有驱动装置，用于驱动末端受动器绕铰接点转动；所述的末端受动器有两个，分别为第一末端受动器、第二末端受动器，所述第一末端受动器和第二末端受动器的后端分别与机械臂铰接；前端分别连接有第一取物器、第二取物器；所述的第一取物器与第二取物器分别设有取物槽，二者共同作用实现抓取物件；所述的搬运校准装置上还设有校准装置，用于对被抓取物件定位校准；所述校准装置包括取物槽下部设有的定位面，用于对被抓取物件进行中心定位；所述的定位面包括在取物槽的下部从上至下依次设有的定位斜面和定位平面。