光刻胶组合物

摘要

提供了化学增幅的正光刻胶组合物，它包含含有缩醛和脂环族基团的树脂。本发明的光刻胶具有明显提高的光刻性能。本发明优选的光刻胶包含一种或多种光致酸形成剂化合物，且一种或多种酚醛树脂包含一个或多个光致酸不稳定的缩醛基团和一个或多个脂环族基团，如金刚烷基。

主权项

1.一种光刻胶组合物，它包含：i)包含以下通式(I)所示结构的一种或多种树脂：式中，R是非氢取代基：R¹是非氢取代基，它不包括羟基或羧基；缩醛/脂环族是取代基，它包括i)一个或多个光致酸不稳定的缩醛基团，ii)一个或多个脂环族基团；各Z单独为氢或任选取代的C_1-6烷基；m是从0到4的整数；n是从0到5的整数；w、x和y是基于聚合物总量的各聚合物单元的摩尔％，且w、x和y各自大于0；ii)一种或多种光致酸形成剂化合物。