激光刻线机及基板传送装置

摘要

本实用新型涉及激光加工技术领域，公开一种激光刻线机及基板传送装置，所述激光刻线机包括激光头和基板传送装置，所述基板传送装置包括导轨座、固定在所述导轨座上的直线导轨、可沿所述直线导轨滑动的滑块、固定于所述滑块的工作台、以及直线电机，所述工作台具有用于固定连接所述基板的连接机构，所述直线电机包括定子和动子，所述定子固定在所述导轨座上，所述动子驱动所述工作台沿所述直线导轨运动。本实用新型能够提供平稳的运动，并能保证高精度的基板传送。

主权项

一种激光刻线机，其特征在于，所述激光刻线机包括激光头和基板传送装置，所述基板传送装置包括导轨座、固定在所述导轨座上的直线导轨、可沿所述直线导轨滑动的滑块、固定于所述滑块的工作台、以及直线电机，所述工作台具有用于固定连接所述基板的连接机构，所述直线电机包括定子和动子，所述定子固定在所述导轨座上，所述动子驱动所述工作台沿所述直线导轨运动。