具有异向性高电介值闸极电介构造之电晶体元件

摘要

一种场效电晶体包括包含非等向性电介物之闸极绝缘层。该方向经由选择使得平行于该闸极绝缘层之第一电介常数为实质上小于垂直于该闸极绝缘层之第二电介常数。

主权项

一种场效电晶体，包括形成在主动区域之上方及包含高电介值电介物之闸极绝缘层，其中，该高电介值电介物之垂直于该闸极绝缘层之电介常数本质上系高于平行于该闸极绝缘层之电介常数。