| 发明名称 |
用于压印微影技术的材料 |
| 摘要 |
本发明系关于一种用于压印微影技术之材料，其组成特征为具有与该组成相随的黏度，且包括一表面活性剂、一可聚合成分，针对一刺激起反应并在反应后改变黏度之一起始剂，在液态时组成具有低于约100厘泊之黏度，低于约20托(Torr)之蒸汽压，且在固态固化态下高于约100MPa的拉伸模数，高于约3MPa之破裂应力及在破裂时高于2%之伸长量。 |
| 申请公布号 |
TWI324622 |
申请公布日期 |
2010.05.11 |
| 申请号 |
TW094105242 |
申请日期 |
2005.02.22 |
| 申请人 |
分子压模公司 MOLECULAR IMPRINTS, INC. 美国;德州大学董事会 BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 美国 |
发明人 |
徐 法兰克Ｙ;渥特斯 麦可Ｐ Ｃ;史塔希 尼可拉斯Ａ |
| 分类号 |
C08K5/54;C08K5/541;C08J7/16;C08J7/18 |
主分类号 |
C08K5/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
| 主权项 |
一种用于压印微影之压印材料，包含：一组成，具有一与该组成相随的黏度，且包括一表面活性剂、一可聚合成分及针对一刺激起反应并回应该刺激来改变该黏度的一起始剂，该组成在液态下具有低于约100厘泊之黏度，低于约20托(Torr)之蒸汽压，且在固态固化态下高于约100MPa的拉伸模数，高于约3MPa之破裂应力及高于2%之破裂时伸长量。 |
| 地址 |
美国;美国 |
