PROCEDIMIENTO PARA LA PREPARACION DE TRICLOROMONOSILANO.

摘要

Procedimiento para la preparación de tricloromonosilano, en el que en un lecho fluidizado a base de partículas de silicio y de cloruro de hidrógeno, las partículas de silicio se hacen reaccionar con el cloruro de hidrógeno en un reactor de lecho fluidizado, empleándose como partículas de silicio un polvo fino de silicio que tiene un tamaño máximo de granos de 80 μm, y siendo introducido el polvo fino de silicio directamente en el reactor.