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发明名称 Liquid processing apparatus
摘要
申请公布号 EP1848024(B1) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 EP20070007785 申请日期 2007.04.17
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 AKIMOTO, MASAMI;TOSHIMA, TAKAYUKI;KANEKO, SATOSHI;MATSUMOTO, KAZUHISA;ITO, NORIHIRO;NANBA, HIROMITSU
分类号 H01L21/00;B05B7/00;B05B7/02;B05C11/02;B08B11/02;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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