发明名称
摘要
申请公布号 JP4338952(B2) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 JP20020301536 申请日期 2002.10.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址