首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
METHOD FOR CONTROLLING A RECESS ETCH PROCESS
摘要
申请公布号
EP1529193(B1)
申请公布日期
2009.10.07
申请号
EP20030785204
申请日期
2003.08.12
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
VENUGOPAL, VIJAYAKUMAR, C.;PERRY, ANDREW, J.
分类号
G01N21/00;G01B11/02;G01B11/06;G01N21/27;G01N21/45;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108
主分类号
G01N21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
永磁与电磁混合式异性相吸磁悬浮无人机弹射器
一种焙烧炉
一种管件连接用凸轮机
一种治疗打喷嚏浓缩液的制作方法
一种铸造汽缸体的去毛刺装置及去毛刺方法
一种多功能插线板
一种基于四dsPIC的全向轮足球机器人运动控制系统
一种远程计算机故障分析系统
一种实现智能提醒手机充电完成的方法
一种真空消失模铸造球墨铸铁管件专用浇注系统
混凝土水槽拼接模块快速成型机
太阳能水上运输工具
一种具有按摩功能的鼠标
3G网络视频监控系统与监控方法
一种印染废水凝聚药剂
一种垃圾处理再生制煤的方法
一种治疗慢性肠炎的中药组合物
自动化流程控制系统的保护系统、方法及安全复合装置
抗强震汽车后视镜
移动集成加气站