发明名称 |
Electroless plating systems and methods |
摘要 |
Electroless plating systems and methods are described herein.
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申请公布号 |
US7597763(B2) |
申请公布日期 |
2009.10.06 |
申请号 |
US20040763470 |
申请日期 |
2004.01.22 |
申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
DUBIN VALERY M.;FAJARDO ARNEL;CHENG CHIN-CHANG |
分类号 |
B05C11/00;B05D5/12;C23C18/16;C23C18/31;H01L21/288 |
主分类号 |
B05C11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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