| 发明名称 |
Charged particle microscopy using super resolution |
| 摘要 |
A method for improving throughput in review of images from a charged particle beam microscopy tool and a charged particle beam microscopy tool are disclosed.
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| 申请公布号 |
US7598492(B1) |
申请公布日期 |
2009.10.06 |
| 申请号 |
US20070623576 |
申请日期 |
2007.01.16 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION |
发明人 |
KRZECZOWSKI KENNETH J.;NASSER-GHODSI MEHRAN;LENT MATHEW H. |
| 分类号 |
H01J37/26;G01N23/225 |
主分类号 |
H01J37/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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