| 发明名称 | 二元布气管 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种二元布气管，包括磁控溅射阴极的进气管、控制进气管流量的阀门，所述磁控溅射阴极的进气管的末端部分和中间部分各自采用独立的进气管分别供气。通过构建一种二元布气管，使磁控溅射阴极末端部分和中间部分都能更加均匀地进气，从而使反应溅射镀膜更加均匀。 | ||
| 申请公布号 | CN201313933Y | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200920135192.1 | 申请日期 | 2009.03.11 |
| 申请人 | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 | 发明人 | 徐日宏 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人 | 胡吉科 |
| 主权项 | 1. 一种二元布气管，包括磁控溅射阴极的进气管、控制进气管流量的阀门，其特征在于：所述磁控溅射阴极的进气管的末端部分和中间部分各自采用独立的进气管分别供气。 | ||
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区公明镇长训村长兴工业区72号 | ||