| 发明名称 | 硅搁架塔 | ||
| 摘要 | 一种用于在垂直炉中整批热处理硅晶圆(46)的硅搁架塔(10)。该塔包含至少三支连接至基部的硅脚(16，18，20)并具有垂直排列的槽(22)。硅搁架(24)通过侧脚中的槽将其滑动至后脚中的槽以拆卸地装载。联锁装置可拆卸地将搁架定锁至后脚，同时，在两侧脚中的槽横向地约束该搁架。搁架包含切口(38)，以允许机械手叶片进出搁架装卸该晶圆。在搁架中的圆孔(32，34)释放应力并防止晶圆粘粘。优选地，搁架由随机取向的多晶硅(ROPSi)形成。搁架及塔也可以由诸如石英及碳化硅的其它材料形成。 | ||
| 申请公布号 | CN101542014A | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200680022039.7 | 申请日期 | 2006.04.14 |
| 申请人 | 统合材料股份有限公司 | 发明人 | 拉南·泽哈维;里斯·雷诺斯 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;陈 红 |
| 主权项 | 1、一种可拆卸地支撑在支撑塔中的搁架，所述支撑塔可支撑多个该类搁架，并用以支撑热处理的衬底，所述搁架基本上由硅组成，该硅选自由多晶硅、半-单切克劳斯基法硅或铸硅所构成的群组。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||