发明名称 MONITORING OF VAPOR DENSITY IN VAPOR DEPOSITION FURNANCE BY EMISSION SPECTROSCOPY
摘要
申请公布号 US3609378(A) 申请公布日期 1971.09.28
申请号 USD3609378 申请日期 1966.10.31
申请人 AIR REDUCTION CO. INC. 发明人 HUGH ROSCOE SMITH JR.
分类号 C23C14/54;H01J37/304;H01J37/305;H01J41/04;(IPC1-7):G02F1/28 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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