微机械变压器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压V_in，第二导体2输出感应电压V_induc。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀锚点、键合、减薄、刻蚀结构材料。本发明提出的新型微机械变压器具有结构设计简单、工艺成熟、体积小等优点，同时很容易扩展成多级变压器，在设计片上型多输出、复杂能源系统领域具有较好的应用前景。

主权项

1.一种微机械变压器，其特征在于：包括第一导体(1)、第二导体(2)、第三导体(3)、基底(4)和锚点(6)；所述的第三导体(3)位于基底(4)上，与外界地相连；第一导体(1)与第二导体(2)均通过锚点(6)悬置于基底(4)上，第一导体(1)输入电压，第二导体(2)输出感应电压；第一导体(1)、第二导体(2)与第三导体(3)两两之间构成平板电容。