| 发明名称 | 升降机构及搬送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够适用于重物升降的升降机构，其是能够缩小各构造零件，进行小型化的升降机构。升降作为重物的搬送单元(501)的升降机构(502)包括：支撑搬送单元(501)并使其升降的升降台(550)、使升降台(550)升降的升降驱动部(560)、抵抗作用在升降驱动部(560)上的所述搬送单元的负荷并产生向上作用的辅助力的辅助机构(570)。 | ||
| 申请公布号 | CN100543956C | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200610128925.X | 申请日期 | 2006.09.04 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 中山秀树 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种搬送装置，其特征在于，具有：支撑作为真空处理系统的被处理体的被搬送物并进行搬送的搬送单元；和使所述搬送单元升降以调整所述搬送单元的高度位置的升降机构，其中，所述升降机构包括：支撑所述搬送单元并使其升降的升降台；使所述升降台升降的升降驱动部；和抵抗作用到所述升降驱动部上的所述搬送单元的负荷，并产生向上作用的辅助力的辅助机构，所述辅助力在包括所述搬送单元上升时和下降时在内的时间内一直发挥作用。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||