发明名称 复合基底的电镀
摘要 用于在复合基底上选择性沉积锡或锡合金薄膜的电解液。同时描述了用于在该复合基底上沉积该锡或锡合金的方法。
申请公布号 CN100543195C 申请公布日期 2009.09.23
申请号 CN200410056294.6 申请日期 2004.08.06
申请人 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 发明人 M·P·托本;N·D·布朗;A·奇拉菲斯
分类号 C25D3/60(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I 主分类号 C25D3/60(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 陈剑华
主权项 1. 一种组合物,包含如下成分:按Sn2+的量计,1-150克/升的一种或多种锡或锡合金源,该锡源是有机磺酸亚锡、硫酸亚锡、葡萄糖酸亚锡、柠檬酸亚锡、乳酸亚锡、卤化亚锡或它们的混合物;0. 5-10克/升的至少一种表面活性剂,该表面活性剂为醇乙氧基化物;0. 05-10克/升的一种或多种芳香二醇;和15-55克/升的一种或多种具有如下通式的化合物、该化合物的盐或它们的酯:HOOCBCOOH (1)其中B是化学键或-(CH2)n-且n是1至4的整数。
地址 美国马萨诸塞