发明名称 |
复合基底的电镀 |
摘要 |
用于在复合基底上选择性沉积锡或锡合金薄膜的电解液。同时描述了用于在该复合基底上沉积该锡或锡合金的方法。 |
申请公布号 |
CN100543195C |
申请公布日期 |
2009.09.23 |
申请号 |
CN200410056294.6 |
申请日期 |
2004.08.06 |
申请人 |
罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 |
发明人 |
M·P·托本;N·D·布朗;A·奇拉菲斯 |
分类号 |
C25D3/60(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I |
主分类号 |
C25D3/60(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈剑华 |
主权项 |
1. 一种组合物,包含如下成分:按Sn2+的量计,1-150克/升的一种或多种锡或锡合金源,该锡源是有机磺酸亚锡、硫酸亚锡、葡萄糖酸亚锡、柠檬酸亚锡、乳酸亚锡、卤化亚锡或它们的混合物;0. 5-10克/升的至少一种表面活性剂,该表面活性剂为醇乙氧基化物;0. 05-10克/升的一种或多种芳香二醇;和15-55克/升的一种或多种具有如下通式的化合物、该化合物的盐或它们的酯:HOOCBCOOH (1)其中B是化学键或-(CH2)n-且n是1至4的整数。 |
地址 |
美国马萨诸塞 |