发明名称 Method for Inhibiting Background Plating
摘要 Methods of inhibiting background plating on semiconductor substrates using oxidizing agents are disclosed.
申请公布号 EP2103716(A1) 申请公布日期 2009.09.23
申请号 EP20090154740 申请日期 2009.03.10
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC 发明人 HAMM, GARY;JACQUES, DAVID J.;COLANGELO, CARL J.
分类号 C25D3/46;C25D5/02;C25D7/12;H01L31/0224 主分类号 C25D3/46
代理机构 代理人
主权项
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