光学镀膜装置

摘要

本发明提供一种光学镀膜装置，包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一蒸镀源及一挡流板。该承载架设在该镀膜室内，其用于安装多个待镀组件。该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转。该蒸镀源设在该镀膜室底部，与该承载架相对。该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间，该挡流板包括多个具不同形状的遮板，当待镀组件镀多层不同厚度的重复镀膜时，通过旋转该支撑柱使得所述不同形状的遮板来遮蔽蒸镀源。

主权项

1. 一种光学镀膜装置，包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一镀膜源及一挡流板，该承载架其设在该镀膜室内，用于安装多个待镀组件，该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转，该镀膜源设在该镀膜室的底部并与承载架相对，其特征在于：该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间，该挡流板包括多个具不同形状的遮板，当待镀组件镀多层不同厚度的重复镀膜时，通过旋转该支撑柱使得所述不同形状的遮板来遮蔽蒸镀源。