具有计测区域的自动设定装置的位移传感器

摘要

本发明提供一种位移传感器，即使在将如玻璃等那样的具备具有不同的反射率的多个面的计测对象物体作为对象时，也能够自动地进行计测区域的设定，并进行稳定的计测。其具有：投光元件，其用于对计测对象物体以规定角度照射光；受光元件，其用于接收来自被光照射的计测对象物体的反射光；计测对象区域的自动设定装置，其使投光元件的发光量从规定值起自动地按规定量逐步增加，直到由受光元件取得两面以上的计测对象物体的反射面为止，并自动设定与所取得的至少两个反射面分别对应的计测区域；位移计测装置，其用于基于受光元件的受光图像，进行作为目的的位移的计测。

主权项

1. 一种位移传感器，其特征在于，包括：投光元件，其用于对计测对象物体以规定角度照射光；受光元件，其用于接收来自被光照射的计测对象物体的反射光；计测对象区域的自动设定装置，其使投光元件的发光量从规定值起自动地按规定量或者规定比率逐步增加，直到由受光元件取得的计测对象物体的反射面的个数为两个以上为止，并自动设定与所取得的至少两个反射面分别对应的计测区域；位移计测装置，其基于与所设定的计测对象区域对应的受光元件的受光图像，对作为目的位移进行计测。