注射泵、基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明提供一种注射泵、使用了注射泵的基板处理装置以及基板处理方法，除去附着在活塞的侧面上的处理液和颗粒，并且能够维持活塞与密封部件之间的润滑性。基板处理装置(1)的注射泵(8)，在缸体(81)的后部侧形成的后方室(85)内，将清洗液供给到活塞(82)的侧面上。因此，在活塞(82)的侧面所附着的抗蚀液和颗粒被清洗液冲洗掉，而被从活塞(82)的侧面除去。此外，向后方室85内供给的清洗液的一部分，附着在第一密封部件(83b)、第二密封部件(87b)、以及活塞(82)的表面上，发挥润滑剂的作用。因此，维持着第一密封部件(83b)以及第二密封部件(87b)与活塞(82)之间的润滑性。

主权项

1. 一种注射泵，用于输送并供给处理液，其特征在于，具有：中空的缸体，其具有吸引所述处理液的吸引孔和喷出所述处理液的喷出孔；隔离部件，其将所述缸体的内部空间隔成第一室和第二室，并且具有在所述缸体的前后方向上贯通的第一贯通孔，其中，该第一室与所述吸引孔及所述喷出孔相连通，该第二室相比所述第一室形成在所述缸体的后部侧；后端部件，其配置在所述缸体的后端部，构成所述第二室的外壁的一部分，并具有在所述缸体的前后方向上贯通的第二贯通孔；活塞，其插入到所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔中，活塞的前端部配置在所述第一室的内部，并且，活塞的后端部相比所述缸体的后端部配置在所述缸体的外侧；驱动部，其使所述活塞在所述缸体的前后方向上进行进退；第一密封部件，其将所述第一贯通孔的内侧面和所述活塞的侧面之间密封，并使所述第一贯通孔的内侧面和所述活塞的侧面之间自由滑动接触；第二密封部件，其将所述第二贯通孔的内侧面和所述活塞的侧面之间密封，并使所述第二贯通孔的内侧面和所述活塞的侧面之间自由滑动接触；液体供给装置，其在所述第二室的内部向所述活塞的侧面供给规定的液体；液体排出装置，其从所述第二室排出所述规定的液体。