| 主权项 |
1、一种气体压力控制调节装置，其特征在于，该装置分为主管路压力调节装置和子管路压力调节装置两部分，其中，主管路压力调节装置控制调节进入装置内管路气体的压力，包括高纯氮气气瓶(1)、气瓶手动阀门(5)、集气管A(2)、气瓶压力表(6)、过滤器A(20)、减压器放气手动阀A(8)、手动阀门A(9)和连接各元器件的连接管路；高纯氮气瓶(1)为装置提供高压气体，通过气瓶手动阀门(5)控制高压气体来源，气瓶手动阀门(5)由高纯氮气瓶自带，气瓶压力表(6)监测气瓶内高纯氮气压强，打开手动阀门A(9)，高纯氮气进入集气管A(2)中，过滤器A(20)对进入的气体进行过滤，集气管A(2)中的压力通过气源总表(15)进行监测，主管路中集气管A(2)的气压通过放气阀门A(8)泄掉；子管路压力调节装置中共有三路外部管路接头，据此能够同时完成三项操作，子管路包括集气管B(3)、集气管C(4)、减压器阀(7)、过滤器B(21)、手动阀门B(10)、手动阀门C(11)、手动阀门D(12)、减压器放气手动阀门(13)、放气手动阀门B(14)、压力表A(16)、压力表B(17)、压力表C(18)、压力表D(19)以及外部管路接头22和连接各元器件的连接管路，减压器阀(7)控制进入集气管B(3)中气体的压力，压力值通过压力表B(17)进行监测，过滤器B(21)对进入的气体进行过滤，集气管B(3)中的气压达到要求值后，通过手动阀门B(10)、手动阀门C(11)、手动阀门D(12)控制气体的输出，完成不同的功能，并通过压力表A(16)、压力表C(18)和压力表D(19)监测各管路内的压力值，外部管路接头(22)与外部管路连接，使气体进入外部装置管路中，通过减压器放气手动阀(13)泄去集气管B(3)中的压力，装置中的废气统一收集在一集气管C(4)中，统一排放至外部中和塔内，由放气手动阀门B(14)控制操作。 |
