图像测量设备

摘要

一种满足下面的表达式(1)的蝇眼积分器被用于照明系统：Φ×φ/f＞M×D_L×NA_L(1)。其中，Φ是与蝇眼积分器的出射端面内接的圆的直径；φ是与构成蝇眼积分器的每个透镜元件的端面内接的圆的直径；f是构成蝇眼积分器的每个透镜元件的焦距；M是成像光学系统的变焦变倍比，D_L是对于成像光学系统变焦低倍侧所需要的视场直径，以及NA_L是对于成像光学系统变焦低倍侧必要的数值孔径。因此，可以提供图像测量设备，其可以防止从低变倍到高变倍的不足的NA和视场的不均匀。

主权项

1.一种图像测量设备，包括：成像光学系统，所述成像光学系统从样品侧起包括物镜和变焦光学系统；以及照明光学系统，所述照明光学系统从光源侧起包括光源和蝇眼积分器，所述照明光学系统通过所述物镜照明所述样品，其中所述蝇眼积分器满足表达式(1)：Φ×φ/f＞M×DL×NAL (1)其中Φ是在蝇眼积分器的出射端面中内接的圆的直径，φ是在构成蝇眼积分器的每个透镜元件的端面中内接的圆的直径，f是构成蝇眼积分器的每个透镜元件的焦距，M是成像光学系统的变焦变倍比，DL是对于成像光学系统变焦低倍侧必要的视场直径，并且NAL是对于成像光学系统变焦低倍侧必要的数值孔径。