用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形

摘要

本发明公开了用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形。来自半导体处理系统的计量数据被利用多元分析进行变形。具体地，获得对用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的计量数据组。用多元分析对所获得的计量数据组确定一个或多个关键变量。获得对使用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的第一计量数据。第一计量数据不是早先获得的计量数据组中的计量数据之一。用所确定的一个或多个关键变量将第一计量数据变形为第二计量数据。

主权项

1.一种用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形的方法，所述方法包括：a)获得针对使用所述处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟出的计量数据组；b)用多元分析确定针对所获得的计量数据组的一个或多个关键变量；c)获得针对使用所述处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟出的第一计量数据，其中，所述第一计量数据不是在a)中获得的计量数据组中的计量数据之一；以及d)用在b)中确定的一个或多个关键变量将在c)中获得的所述第一计量数据变形为第二计量数据。