常压等离子发生装置

摘要

本实用新型提供一种常压等离子发生装置，包括：一第一石英管；一第二石英管，有间隙地套设于该第一石英管外；一第三石英管，该第三石英管有间隙地套设于该第二石英管外，且三石英管的开口方向相同；一感应线圈，缠绕于该第二或第三石英管外表面；一连接于该感应线圈的两端电源装置；一用于向该第一石英管内部输送原料气体的第一输气管；一用于向该第二石英管内部输送冷却气体的第二输气管；一用于向第三石英管内输送额外冷却流体的第三输气管。通过上述技术方案，可以能有效地降低最内层石英管内等离子气体的温度，并可有效地增大常压等离子发生装置的一次作业面积，从而提高了工作效率。

主权项

1. 一种常压等离子发生装置，包括：单端开口的第一石英管及第二石英管，该第二石英管有间隙地套设于该第一石英管外，且第一、第二石英管的开口方向相同；一用于向该第一石英管内部输送原料气体的第一输气管，从外向内分别穿过第二石英管和第一石英管的封闭端；一用于向该第二石英管内部输送冷却气体的第二输气管，穿设于第二石英管的管壁；其特征在于，该等离子发生装置还包括：一单端开口的第三石英管，其有间隙地套设于该第二石英管外，且第三石英管开口方向与第一、第二石英管的开口方向相同，该第一输气管从第三石英管的封闭端穿过；一用于向第三石英管内输送额外冷却流体的第三输气管，穿设于第三石英管的管壁；一感应线圈，螺旋缠绕于该第三石英管的外表面；一利用电感耦合原理使第一石英管内部产生等离子体的电源装置，该电源装置的二电极分别与该感应线圈的两端连接。