玻璃衬底的质量测试机及其方法

摘要

提供一种用于检查玻璃衬底的质量的设备，所述设备包括发射光仅透过玻璃衬底以检查玻璃衬底的波纹的发光部。所述设备和方法使用相机来更加清楚地拍摄玻璃衬底的表面的影子图像，并通过微分算法从影子图像更精确地检查波纹的存在。结果，可实时检查由输送装置连续输送的玻璃衬底的质量，从而提高了质量和对产品的满意度。当然，也可减少检查玻璃衬底的质量花费的时间，从而迅速并连续地执行诸如沉积、蚀刻、溅射等使用等离子体的处理。

主权项

1、一种用于检查玻璃衬底的质量的设备，所述设备包括将玻璃衬底输送到处理设备的输送装置以及检查单元，所述检查单元在玻璃衬底被输送时或玻璃衬底停止时实时地检查玻璃衬底中波纹的存在，所述检测单元包括：发光部，照射光透过玻璃衬底的表面；图像处理部，在发光部将光照射透过玻璃衬底时，拍摄由透过玻璃衬底的光产生的玻璃衬底的表面的影子图像；以及控制部，从图像处理部拍摄的影子图像检查玻璃衬底的表面的波纹的存在。