发明名称 Illumination system with zoom lens
摘要 <p>Die erfindung betrifft ein katoptrisches Beleuchtungssystem mit einer Lichtquelle (1), die eine Strahlung emittiert, wobei die Strahlung ein Feld in einer Feldebene (114) ausleuchtet und gleichzeitig eine Ausleuchtung in einer Pupillenebene zur Verfügung stellt, wobei die Ausleuchtung in der Pupillenebene eine Größe aufweist, die kontinuierlich variiert werden kann.</p><p>&lt;Paragraphs id="pa02" num="0002" xmlns:base="http://www.sipo.gov.cn/XMLSchema/base"&gt;Das Beleuchtungssystem umfasst eine Vielzahl von optischen Elementen, die derart angeordnet sind, dass die Strahlung von der Lichtquelle (1) zur Feldebene (114) und zur Pupillenebene geleitet wird, wobei der Abstand zwischen wenigstens zwei optischen Elementen der Vielzahl von optischen Elementen veränderbar ist und die zwei optischen Elemente wenigstens ein facettiertes optisches Element umfassen. </p>
申请公布号 EP1845417(A3) 申请公布日期 2009.09.23
申请号 EP20070006340 申请日期 2007.03.28
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SINGER, WOLFGANG, DR.;OSSMANN, JENS
分类号 G03F7/20;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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