| 发明名称 | 真空排气处理用的支架 | ||
| 摘要 | 为了提高生产效率，提供一种能够以较小的间隔支撑中空面板的真空排气处理用的支架。其解决手段是，一种真空排气处理用的支架(1)，包括支撑多个中空面板(2)的支撑部件(7)，供安装在各中空面板(2)的开口的尾管(10)分别插入、并通过尾管(10)从各中空面板(2)排出各自的气体的多个排气集管(11)，其中使排气集管(11)在与尾管(10)的插入方向及与插入中空面板(2)的方向垂直的方向上相互不同位地错开，并配置成在尾管(10)的插入方向上每隔一个排成一条直列。 | ||
| 申请公布号 | CN101540256A | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200910130703.5 | 申请日期 | 2009.02.15 |
| 申请人 | 中外炉工业株式会社 | 发明人 | 惠上寿雄 |
| 分类号 | H01J9/385(2006.01)I | 主分类号 | H01J9/385(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 方晓虹 |
| 主权项 | 1.一种真空排气处理用的支架，包括支撑多个中空面板的支撑部件，供安装在上述各中空面板的开口的尾管分别插入、并通过上述尾管从上述各中空面板排出各自的气体的多个排气集管，其特征在于，使相互邻接的上述排气集管在与上述尾管的插入方向垂直的方向上错开。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||