| 发明名称 |
AUTOMATED METHOD AND SYSTEM FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3618199(A) |
申请公布日期 |
1971.11.09 |
| 申请号 |
USD3618199 |
申请日期 |
1969.06.30 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
LEWIS C. KING;GERALD A. YEARSLEY;ANTHONY L. ADAMS;MARION I. SIMMONS;EUGENE G. ALTENBURGER;BILLY P. YAGER |
| 分类号 |
H01L23/12;F26B13/10;G06F17/00;H01L21/00;H01L21/50;(IPC1-7):B01J7/00;B01J17/00 |
主分类号 |
H01L23/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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