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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR CLEANING ARTICLES, ESPECIALLY THIN WAFERS
摘要
申请公布号 EP2102896(A1) 申请公布日期 2009.09.23
申请号 EP20070856509 申请日期 2007.12.10
申请人 RENA SONDERMASCHINEN GMBH 发明人 BUERGER, NORBERT
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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