超声波换能器、超声波扬声器及超声波换能器的驱动控制方法

摘要

抑制推挽型的静电型换能器的输出振动波形的正负非对称失真。一种超声波换能器，其为静电型超声波换能器，包括具有导电层的振动膜，以及与该振动膜的各个面对置设置的一对第1和第2固定电极，在前述一对固定电极上的对应位置设置多个通孔，向前述振动膜的导电层施加直流偏置电压，并在前述第1和第2固定电极之间施加交流信号来产生超声波；其特征在于，前述一对固定电极的一部分被形成为驱动超声波换能器的驱动用固定电极，前述一对固定电极的另一部分被形成为检测前述振动膜的振幅的检测用固定电极；并且具有下述单元，该单元根据由前述检测用固定电极所检测的振动膜的振幅大小来进行控制，使前述振动膜振动的振幅与输入信号成比例。

主权项

1、一种超声波换能器，其为静电型超声波换能器，包括具有导电层的振动膜，以及与该振动膜的各个面对置设置的一对第1和第2固定电极，在前述一对固定电极上的对应位置设置有多个通孔，向前述振动膜的导电层施加直流偏置电压，并在前述第1和第2固定电极间施加交流信号来产生超声波；其特征在于，前述一对固定电极的一部分作为驱动超声波换能器的驱动用固定电极而形成，前述一对固定电极的另一部分作为检测前述振动膜的振幅的检测用固定电极而形成；并且具有下述单元，该单元根据由前述检测用固定电极所检测的振动膜的振幅大小，通过使用致动器对前述第1和第2固定电极与振动膜之间的间隙分别进行调整，来进行控制，使前述振动膜振动的振幅与输入信号成比例。