| 发明名称 | 一种新型质量流量控制器在线校验设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子技术领域，具体涉及用于半导体设备气路系统中MFC(质量流量控制器)的在线校验。本发明公开的一种新型质量流量控制器在线校验设备，包括：包括温度传感器、真空规，气路盒及与其连接的质量流量控制器，干泵，还包括：腔室、常闭入口阀、常闭出口阀及其控制装置，其中，常闭入口阀、常闭出口阀与腔室连接。 | ||
| 申请公布号 | CN100543623C | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200510126343.3 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 南建辉 |
| 分类号 | G05B23/02(2006.01)I;G05D7/06(2006.01)I | 主分类号 | G05B23/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1、一种新型质量流量控制器在线校验设备，包括温度传感器(8)、真空规(CM1)，气路盒(1)及与其连接的质量流量控制器(MFC)，干泵(6)，其特征在于包括：腔室(2)、常闭入口阀(9)、常闭出口阀(10)及其控制装置，其中，常闭入口阀(9)的一端与腔室(2)连接，另一端与气路盒(1)连接，常闭出口阀(10)的一端与腔室(2)连接，另一端与干泵(6)连接，所述腔室(2)的体积为200CC～500CC，所述控制装置包括：微处理控制器(14)及串口驱动接口、CAN驱动接口，电磁阀驱动电路(12)，A/D转换电路(13)，其中，电磁阀驱动电路(12)控制常闭入口阀(9)和常闭出口阀(10)的通断，通过A/D转换电路(13)接收温度传感器(8)和真空规(CM1)的模拟信号，微处理控制器(14)根据A/D转换电路(13)的数据计算质量流量控制器(MFC)的流量，计算完毕后通过串口驱动接口或CAN驱动接口传送给半导体设备主机。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||