| 发明名称 | 蚀刻液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够将铝膜或铝合金膜等金属膜控制性良好地、且在抑制、防止抗蚀涂层渗透发生的情况下进行蚀刻，从而得到具有所需锥形形状和优异平坦性的金属膜的蚀刻液组合物。将含有磷酸、硝酸、有机酸盐的水溶液作为用于蚀刻基板上的金属膜的蚀刻液组合物使用。作为所述有机酸盐，使用从选自脂肪族单羧酸、脂肪族多羧酸、脂肪族氧代羧酸、芳香族单羧酸、芳香族多羧酸、芳香族氧代羧酸中的至少1种的、铵盐、胺盐、季铵盐、碱金属盐中选出的至少1种。此外，所述有机酸盐的浓度为0.1～20重量％的范围。此外，本发明的蚀刻液组合物在所述金属膜是铝或铝合金时使用。 | ||
| 申请公布号 | CN101542692A | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200880000680.X | 申请日期 | 2008.07.16 |
| 申请人 | 林纯药工业株式会社;三洋电机株式会社;三洋半导体制造株式会社;三洋半导体株式会社 | 发明人 | 田湖次广;松田知丈;木村直弓;青山哲男 |
| 分类号 | H01L21/308(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/308(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蒋 亭;苗 堃 |
| 主权项 | 1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，是用于蚀刻基板上的金属膜的蚀刻液组合物，是含有磷酸、硝酸、有机酸盐的水溶液。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||